潔凈室的定義

微電子產業研發、生產的對象為晶圓（Wafer），晶圓在無塵工廠（Fab）里被制造（Fabrication）出來，再進行封裝測試等環節；這些生產過程對工廠空間環境要求相當嚴格，環境溫度、濕度、風速、空氣微塵含量、靜電、光照等都會影響晶圓的良率Yield）；因此，需要一個特殊的生產環境，即無塵潔凈室（Clean Room），又稱為無塵室、潔凈室或無塵車間。

潔凈室的分類方法眾多，根據研究對象的不同可以分為工業級和生物級兩大類。工業級主要用于微電子、航空航天、核工業等高科技行業，一般對空氣中懸浮粒子粒徑和濃度進行控制；生物級主要用于生物病原體研究、醫學疫苗生產等，主要控制對象為醫學微生物 。

潔凈室對室內環境要求極高，需要對室內流動空氣懸浮粒子濃度進行嚴格控制，在潔凈室的使用過程中應減少對室內空氣懸浮粒子的引入、產生及滯留，這需要對潔凈室進行定期清潔、保養、檢測；并對室內其他有關參數如潔凈度、室溫、濕度、靜電、氣壓等按要求進行控制；不論潔凈室外界環境如何變化，潔凈室內均能維持恒定的室內環境參數性能，以滿足科研、生產使用需求 。